Kev tshawb fawb tshiab txog ultra-thinInGaAs photodetector
Kev nce qib ntawm cov thev naus laus zis duab luv luv infrared (SWIR) tau ua rau muaj kev pab tseem ceeb rau cov tshuab pom kev hmo ntuj, kev tshuaj xyuas kev lag luam, kev tshawb fawb txog kev tshawb fawb, thiab kev tiv thaiv kev ruaj ntseg thiab lwm yam. Nrog rau qhov kev thov kom pom ntau dua li qhov pom kev, kev txhim kho ntawm cov duab sensor luv luv infrared kuj tseem nce ntxiv tas li. Txawm li cas los xij, kev ua tiav qhov kev daws teeb meem siab thiab suab nrov qislub tshuab ntsuas duab dav davtseem ntsib ntau yam teeb meem kev siv tshuab. Txawm hais tias cov khoom siv hluav taws xob luv luv InGaAs ib txwm muaj peev xwm ua tau zoo heev rau kev hloov pauv photoelectric thiab kev txav mus los ntawm cov neeg nqa khoom, muaj qhov tsis sib haum xeeb ntawm lawv cov cim qhia kev ua tau zoo tseem ceeb thiab cov qauv ntawm lub cuab yeej. Txhawm rau kom tau txais kev ua haujlwm zoo dua (QE), cov qauv tsim ib txwm xav tau txheej nqus (AL) ntawm 3 micrometers lossis ntau dua, thiab qhov kev tsim qauv no ua rau muaj ntau yam teeb meem.
Yuav kom txo qhov tuab ntawm cov txheej nqus (TAL) hauv InGaAs luv-nthwv infraredlub tshuab ntes duab, kev them rov qab rau qhov txo qis ntawm kev nqus ntawm cov wavelengths ntev yog qhov tseem ceeb, tshwj xeeb tshaj yog thaum qhov tuab ntawm cov txheej nqus me me ua rau tsis txaus nqus hauv qhov ntau ntawm cov wavelength ntev. Daim duab 1a qhia txog txoj kev them rov qab rau qhov tuab ntawm cov txheej nqus me me los ntawm kev nthuav dav txoj kev nqus teeb pom kev zoo. Txoj kev tshawb fawb no txhim kho qhov ua tau zoo ntawm quantum (QE) hauv cov kab hluav taws xob luv luv los ntawm kev qhia txog TiOx / Au-raws li kev coj ua hom resonance (GMR) qauv ntawm sab nraub qaum ntawm lub cuab yeej.
Piv nrog cov qauv hlau planar reflection ib txwm muaj, cov qauv guided mode resonance tuaj yeem tsim ntau yam resonance absorption effects, ua kom zoo dua qhov kev nqus ntawm lub teeb ntev-wavelength. Cov kws tshawb fawb tau ua kom zoo dua qhov tseem ceeb ntawm cov qauv guided mode resonance, suav nrog lub sijhawm, cov khoom siv sib xyaw, thiab cov khoom sau, los ntawm txoj kev sib txuas ua ke-wave analysis (RCWA). Yog li ntawd, lub cuab yeej no tseem tswj tau qhov nqus tau zoo hauv cov kab luv-wave infrared. Los ntawm kev siv cov txiaj ntsig ntawm InGaAs cov ntaub ntawv, cov kws tshawb fawb kuj tau tshawb nrhiav qhov kev teb spectral nyob ntawm cov qauv substrate. Qhov txo qis ntawm qhov tuab ntawm cov txheej nqus yuav tsum nrog los ntawm qhov txo qis hauv EQE.
Xaus lus, qhov kev tshawb fawb no tau ua tiav los tsim ib lub tshuab ntes InGaAs uas muaj qhov tuab tsuas yog 0.98 micrometers, uas yog ntau dua 2.5 npaug nyias dua li cov qauv ib txwm muaj. Tib lub sijhawm, nws tswj tau qhov ua tau zoo ntawm ntau dua 70% hauv 400-1700 nm wavelength ntau yam. Qhov kev ua tiav ntawm lub tshuab ntes duab InGaAs ultra-thin muab txoj hauv kev tshiab rau kev tsim cov duab sensors dav dav uas muaj kev daws teeb meem siab, suab nrov tsawg. Lub sijhawm thauj khoom sai uas coj los ntawm kev tsim qauv ultra-thin xav tias yuav txo qhov kev sib txuas lus hluav taws xob thiab txhim kho cov yam ntxwv teb ntawm lub cuab yeej. Tib lub sijhawm, cov qauv cuab yeej txo qis yog qhov tsim nyog dua rau kev siv tshuab ib leeg-chip peb-seem (M3D), tso lub hauv paus rau kev ua tiav cov pixel arrays siab.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Ob Hlis-24-2026